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產(chǎn)品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD小型直流磁控濺射儀
產(chǎn)品簡介
小型直流磁控濺射儀，觸摸屏控制，時(shí)間調(diào)節(jié)電流控制功率，還可調(diào)節(jié)鍍膜時(shí)間，有工藝儲(chǔ)存功能方便下次使用和工藝一致
| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 氬氣 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺(tái)尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏控制 |
| 樣品倉尺寸 | φ160mm | 靶材尺寸 | φ50mm |
| 靶材材質(zhì) | 金銀銅鎳鐵鉻等 | 價(jià)格區(qū)間 | 1-5萬 |
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
小型直流磁控濺射儀，
輕便、濺射面積大
靶材可按用戶要求加工制作
小型離子濺射儀信息由南京舜儀實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司為您提供，如您想了解更多關(guān)于小型離子濺射儀報(bào)價(jià)、型號(hào)、參數(shù)等信息，歡迎來電或留言咨詢
離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對(duì)于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí)，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對(duì)試樣表面進(jìn)行清潔，之后試樣復(fù)原，再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體
。
。
小型直流磁控濺射儀技術(shù)參數(shù)；
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺(tái) | 可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） |
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計(jì)（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
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