1、光學環(huán)境真空微腔探針臺 測試腔、控溫及加熱系統(tǒng)

測試夾具要求：可實現(xiàn)XYZ移動；光學環(huán)境真空微腔探針臺

測試腔：同時滿足靜態(tài)/動態(tài)測試，304不銹鋼材質，可在紫外燈下保證氣密性測試；

測試樣品數：同時測試8個樣品，可進行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應管測試；

測量溫度：室溫---300 ℃

控溫精度：±1 ℃

顯示精度：±0.1 ℃

測溫傳感器：PT100

升溫斜率：1-10 ℃/min

通訊類型：RS485

加熱功率：500 W

測試腔容積<2 L

2、探針臺和氣體配比器

流量計數量：5個，（根據客戶需求標定 氣體  量程    進氣口和出氣口）

流量規(guī)格：500 ml/min

精準度：±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(＜30% F.S.)

重復精度：±0.2% F.S

響應時間：≤1 s

密封形式：金屬密封

接頭尺寸：6 mm

漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s

通訊接口：RS485

4、樣品12*10mm，探針可移動范圍x-y 1-10mm，z軸3-5mm

5、每個樣品上方一個紫外燈，四個燈連成燈串外置一個可控開關。紫外燈可更換，樣品上方2cm。

6、加熱板上有個鍍金襯底，用來連接柵極。

         目前公司已研發(fā)生產產品十多個系列幾十款產品，產品囊括實驗電爐   CVD供氣系統(tǒng)   等離子清洗機   小型離子濺射儀   小型蒸鍍儀  石英管真空封口   半導體檢測等。 主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

     公司與國內高校，科研院所有多層次的合作關系，建有開放實驗室，相關領域的教授、高級工程師、博士參與公司產品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴謹的技術研發(fā)能力，科學合理的生產工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產品質量和服務工作，科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。